Avantage 5.9‑XPS 光电子能谱数据分析软件

软件介绍

Avantage 5.9 是 Thermo Scientific 赛默飞推出的 XPS 光电子能谱专用分析软件，主要用于处理 X 射线光电子能谱测试数据，完成谱图导入、荷电校正、分峰拟合、元素定量、深度剖析处理，适配赛默飞系列 XPS 仪器输出数据格式，材料、化工、表面分析实验室常用版本，仅支持 Windows 平台运行。

功能特点

1. 完整 XPS 数据处理流程，原始谱图导入、荷电偏移校正、背景扣除、平滑降噪、寻峰标定，可对 C、O、N、金属等元素高分辨谱进行分峰拟合，解析不同化学价态。
2. 元素定量计算，基于灵敏度因子自动计算各元素原子百分比含量，输出元素相对浓度报表，支持导出表格数据，用于论文绘图。
3. 深度剖析数据分析，处理离子刻蚀深度溅射数据，生成元素随深度变化的成分分布曲线，分析薄膜多层结构成分变化。
4. 谱图对比与批量处理，多组谱图叠加对比，批量处理同批次测试文件；支持图谱导出图片，适配期刊论文发表配图需求。
5. 兼容仪器原始格式，直接读取赛默飞 K‑Alpha、ESCALAB 等设备原始数据，同时兼容通用 VAMAS 格式，可导入第三方 XPS 测试数据。